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    伺服系统 七轴LDI激光直写平台
    七轴LDI激光直写平台
    采用无铁芯直线电机直驱控制,无齿槽效应,在低速下可平滑运行(速度波动小),同时配备非接触式高精度光栅尺,具备非常优秀的动态性能、定位精度和重复定位精度,与高精度升降Z轴配合使用,解析度可根据客户需求进行不同的设计。
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    产品特点
    可定制化
    (3)产品解析度可达20um,也可根据客户需求进行更
    高精度的定制。
    高动态特性
    最大加速度1g,最大速度1m/s
    高精度
    (1)采用花岗岩设计,低膨胀系数,龙门控制系统,精
    准的控制算法。
    应用领域
    广泛应用于半导体生产线、微电子生产、LCD显示、LCD显示、线路板生产、PCB产品
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    直为高精度定位平台产品
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    2022-11-01